等离子光氧化一体机的前段主要处理含有油性气体或者烟气，后段主要处理voc废气的气味。

　　等离子区工作原理：当废气进入等离子光解一体机净化设备内时，先经过等离子体化学反应过程，即电子从电场获得能量，通过激发或电离将能量转移到分子或原子中去，获得能量的分子或原子被激发，同时有部分分子被电离， 从而成为活性基团;之后这些活性基团与分子或原子、活性基团与活性基团之间相互碰撞后生成稳定产物和热。(在外加电场的作用下，介质放电产生的大量携能电子轰击污染物分子，使其电离、解离和激发，然后便引发了一系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子物质，或使物质转变成或低毒低害的物质，从而使污染物得以降解去除。

　　光氧催化区工作原理：通过破坏、分解、催化氧化把污染气体分解为无味气体。采用C波段光线强裂污染气体分子链，改变物质分子结构，将高分子污染物质裂解、氧化成为低分子物质，如水和二氧化碳等。O3强催化氧化剂进行废气催化氧化, 可地杀灭，将物质破坏且改变成为低分子物质。在C波段激光刺激催化剂涂层产生活性，催化氧化作用